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半导体冷热测试一体机循环制冷机chiller

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半导体冷热测试一体机循环制冷机chiller ZL802

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

本设备采用变频控温方式，提高能效，减少能耗。

-20℃下目标制冷量可以达到3600W，满足用户制冷需求。精QUE控温，控温稳定性达到±0.1℃，使用范围广，设定温度：-20℃~80℃。

半导体冷热测试一体机循环制冷机chiller ZL802

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP (工艺机械抛光)，实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温

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